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晶圆搬送机器人(SR8241)
通过高操控性的伺服电机和控制软件，在高级别的无尘环境下，实现低振动以及平稳快速搬送。
大搬送范围的设计・独立的双驱动系统实现2片同时取放・紧凑的构造、很小的占有面积・应对10mm的片间距・和晶圆合同片间距的2片同取放・低取片高度・具有多功能和可回旋的手臂・3段链接ARM无行走轨道的设计、应对最大5台晶圆合平行排列。
产品参数
基本信息
| 自由度 | 5-AXES |
|---|---|
| 可动范围「翻转轴」(deg) | +/-275 |
| 可动范围「X轴」(㎜) | -750～+750 |
| 可动范围「Z轴」(㎜) | 400 |
| 最大速度「重复精度」(㎜) | +-0.05 |
| 控制器 | SC5000 |
特征图表
设计图
关联信息
主要用途
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