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晶圆搬送机器人(SR8220)
通过高操控性的伺服电机和控制软件，在高级别的无尘环境下，实现低振动以及平稳快速搬送。
采用2ARM构造增大了搬运范围・实现了晶圆的高速传输和双片同取放・确保了超高的直线精度・ARM和Z轴的各种组合以满足应对各种装置的需求・可同时适用于2～8英寸包括12英寸的晶圆的搬送。
产品参数
基本信息
| 自由度 | 4-AXES |
|---|---|
| 可动范围「R1/R2轴」(㎜) | -212～+321 |
| 可动范围「Z轴」(㎜) | 300/500 |
| 最大速度「最大可搬重量」(kg) | 2 |
| 最大速度「重复精度」(㎜) | +-0.1 |
| 控制器 | SC5000 |
设计图
关联信息
主要用途
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