尼得科/NIDEC

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可以按照用途、规格及性能的关键词,对NIDEC(尼得科)集团各公司经营的商品进行检索。

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新规开发/定制品

晶圆搬运用机器人(SR8241)

3-link 水平关节 4Foup

通过高操控性的伺服电机和控制软件,在高级别的无尘环境下,实现低振动以及平稳快速搬送。

特点
大搬送范围的设计独立的双驱动系统实现2片同时取放・紧凑的构造、很小的占有面积应对10mm的片间距和晶圆合同片间距的2片同取放・低取片高度具有多功能和可回旋的手臂3段链接ARM无行走轨道的设计、应对最大5台晶圆合平行排列

产品参数

基本信息

自由度 5-AXIS
可动范围「翻转轴」(deg) +/-275
可动范围「X轴」(㎜) -750~+750
可动范围「Z轴」(㎜) 470
可动范围「θ轴」(deg) +/-170
最大速度「翻转轴」(rag/sec) 9.42
最大速度「X轴」(rag/sec) 2.44(1952㎜/sec)
最大速度「Z轴」(㎜/sec) 720
最大速度「θ轴」(rag/sec) 6.54
最大速度「翻转轴」(rag/sec) 9.42
最大速度「最大可搬重量」(kg) 2
最大速度「重复精度」(㎜) +/-0.05
最大速度「本体重量」(kg) 70
最大速度「控制器」 SC5000
产品搬运公司 尼得科仪器

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